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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68530
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633 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 703
632 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 704
631 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 707
630 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 708
629 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 710
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625 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 730
624 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 750
623 라디컬의 재결합 방지 [1] 751
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621 Collisional mean free path 문의... [1] 764
620 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 764
619 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 770
618 RF 파워서플라이 매칭 문제 772
617 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 773
616 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 778
615 플라즈마 충격파 질문 [1] 779
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