Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Ion/Electron Temperature
플라즈마내의 전자 속도
2009.10.16 04:52
정용현
조회 수:21895
추천:145
플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?
댓글
1
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[269]
76732
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20204
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57168
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68701
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92280
253
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
373
252
안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다.
[1]
373
251
plasma modeling 관련 질문
[1]
387
250
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1]
390
249
플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거
[1]
396
248
ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다.
[1]
422
247
VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다.
[1]
426
246
크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요?
[1]
432
245
스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항
[1]
445
244
glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다.
[1]
446
243
KM 모델의 해석에 관한 질문
[1]
446
242
안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
[1]
450
241
Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
[1]
455
240
Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의
[1]
457
239
코로나 방전 처리 장비 문의드립니다.
[1]
468
238
(PAP)plasma absorption probe관련 질문
[1]
484
237
자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
[1]
484
236
플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법
[1]
484
235
산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
487
234
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1]
507
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer