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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64491
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165 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1217
164 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1245
163 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1256
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159 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1324
158 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1350
157 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1365
156 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1391
155 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1395
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151 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1537
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149 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1580
148 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1592
147 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1595
146 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1774

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