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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64223
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143 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1827
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141 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2006
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127 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2992
126 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3066
125 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3433
124 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4055

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