Others Bias 관련 질문 드립니다.
2022.01.11 14:32
안녕하세요 교수님. 반도체 공정팀에서 근무하는 엔지니어입니다.
RIE 장비 Process 담당하게 되어 공부중인데
Recipe Tuning 중 Bias Select 모드에서,
Bias 를 W 와 V 중 선택하게 되었는데 둘의 차이점이 궁금합니다.
또한 self bias와 관련이 있는지 답변해주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
153 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2017 |
152 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2127 |
151 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2128 |
150 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2173 |
149 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2222 |
148 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2236 |
147 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2239 |
146 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
145 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
144 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2397 |
143 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2433 |
142 | 질문있습니다. [1] | 2572 |
141 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
140 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2765 |
139 | CVD 공정에서의 self bias [1] | 3102 |
138 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3165 |
137 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3204 |
136 | RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] | 3299 |
135 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3383 |
» | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3414 |