Ion/Electron Temperature ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
2017.07.07 15:24
안녕하세요 저는 유니스트에 재학중인 대학원생 홍석모입니다.
제가지금 ICP CVD장비를 사용하고 있는데 플라즈마에 대한 배경지식이 없어서 혹시나 도움이 될까 글을 남겨 봅니다.
지금 저희가 쓰고 있는 장비의 스펙에 대해서 간단히 설명드리면
cylinder type
출력 주파수 13.56MHz
주파수 안정도 ±0.005%
RF 출력 임피던스 50 ohm nominal
AC 입력Power Line 208/220/230 Vac/단상 50-60Hz
정격RF Power Output YSR-06MF: 600W @ 50 ohm.
RF Output Connector N Type
DIMENSION 482W * 458D * 178H / 36Kg
그리고 작동 압력은 0.1 torr에서 0.01torr사이에서 작동 하고 있습니다.
제가 궁금한것은 power와 ionenergy사이의 관계를 알고 싶고, 시뮬레이션이 가능하다면 어떤 프로그램으로 할수 있는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.
감사합니다.
홍석모.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20207 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92290 |
| 133 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
| 132 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3446 |
| 131 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3557 |
| 130 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3721 |
| 129 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3753 |
| 128 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 3774 |
| 127 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3956 |
| 126 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4180 |
| 125 | Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] | 4810 |
| 124 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
| 123 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5677 |
| 122 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5927 |
| 121 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6182 |
| 120 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6418 |
| 119 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6438 |
| 118 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
| 117 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
| 116 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
| 115 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
| 114 | 핵융합에 대하여 | 8564 |