Plasma in general RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
2021.05.10 16:56
안녕하세요.
플라즈마를 이용한 반도체 공정의 균일도에 관련한 모든 게시물을 보며 많은 도움을 받았습니다.
RF Power는 플라즈마 분포 균일성 및 공정 균일도에 영향을 미치지 않는 것인지 궁금하여 질문드립니다. (CCP-RIE, PECVD)
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92294 |
133 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
132 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3447 |
131 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3557 |
130 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3721 |
129 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3753 |
128 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 3776 |
127 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3957 |
126 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4180 |
125 | Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] | 4810 |
124 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
123 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5677 |
122 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5927 |
121 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6183 |
120 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6418 |
119 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6438 |
118 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
117 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
116 | MFP에 대해서.. [1] | 7824 |
115 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
114 | 핵융합에 대하여 | 8564 |