Others Plasma Gas의 차이점

2009.10.16 04:38

Nick 조회 수:17998 추천:113

안녕하세요
저는 플라즈마 실무를 이제 막 접하게 된 직장인입니다
화공과를 나왔지만 회사에서 주어진 일이라 어쩔 수 없이 플라즈마를 담당하게 되었습니다

Plasma에 사용하는 Gas가 여러가지가 있던데 차이점이 무엇인지 알 수 있을까요?

예를 들어,
Ar, O2, CF4, H2N2 등을 사용하는데 언제 이 가스들을 사용해야 하는지 알 수가 없습니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
82 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 826
81 문의 드립니다. [1] 871
80 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 962
79 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 965
78 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1040
77 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1130
76 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1142
75 Group Delay 문의드립니다. [1] 1151
74 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1259
73 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1302
72 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1393
71 플라즈마 관련 교육 [1] 1414
70 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1436
69 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1453
68 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1568
67 질문있습니다. [1] 2583
66 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3453
65 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3479
64 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3804
63 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3991

Boards


XE Login