Chamber Impedance chamber impedance
2019.09.24 15:45
안녕하십니까? 교수님,
ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다.
알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요?
또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요?
답변을 부탁 드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76731 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20200 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 102 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 815 |
| 101 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
| 100 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |
| 99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 884 |
| 98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 960 |
| 97 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
| 95 | Plasma Arching [1] | 1051 |
| 94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
| 93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
| 92 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1227 |
| 91 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
| 90 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 1324 |
| 89 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1419 |
| 88 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 87 | 알고싶습니다 [1] | 1458 |
| 86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
| 85 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1460 |
| 84 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
| 83 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1516 |