CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76738
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92287
102 RF 파워서플라이 매칭 문제 815
101 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 840
100 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 844
99 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 885
98 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 960
97 고진공 만드는방법. [1] 1008
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
95 Plasma Arching [1] 1051
94 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1113
93 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1158
92 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1227
91 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1270
90 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1324
89 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1419
88 MATCHER 발열 문제 [3] 1429
87 알고싶습니다 [1] 1459
86 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1459
85 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1460
84 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1464
» IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1518

Boards


XE Login