|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[143]
| 5798 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 17210 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 53024 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 64472 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 85086 |
|
69 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1773 |
|
68 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1859 |
|
67 |
Si Wafer Broken
[2] | 1965 |
|
66 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 1988 |
|
65 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2041 |
|
64 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2075 |
|
63 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2101 |
|
62 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2200 |
|
61 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 2216 |
|
60 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2225 |
|
59 |
임피던스 매칭회로
[1] | 2259 |
|
58 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2266 |
|
57 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 2402 |
|
56 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 2794 |
|
55 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3032 |
|
54 |
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
| 3886 |
|
53 |
matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다.
[1] | 3956 |
|
52 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 4531 |
|
51 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 4734 |
|
50 |
안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5223 |
