안녕하세요..

저는 반도체회사에 근무하는 직장인입니다

RF Generator와 Impedance 관련 궁금한 것이 있어 자문을 얻고자합니다


현재 CVD 공정에서 일하고 있으며, ICP 설비를 다루고 있는데,

동일한 설비이나 Turbo Pump Model이 달라(RPM이 다름) 동일한 Gas 량을 Chamber에 넣어도 Chamber Pressure에 차이가 납니다

실제 공정진행 시 4.7mT,  6.7mT로 약 2mT 차이가 발생하는데요..

이러한 경우에 챔버의 Impedance에도 차이가 나는지, 또 차이가 난다면 어느정도가 나는지 알고 싶습니다.


또 하나는 RF Generator에 관한 질문인데요..

RF Generator는 2MHz를 사용하며, 3000KW출력을 내는 4개의 P/A Board로 구성되어 있어 최대 12000KW 출력을 낼수 있습니다.

P/A Board간의 Current Ballance가 중요하다고 하는데, 왜 중요한지 알고 싶으며,

현재 P/A Board 의 발열에 의한 Burnning 문제가 있는데, 이 Board 간 Current Ballance가 발열에도 영향을 미치는지 알고 싶습니다.


수식으로 설명이 가능하다면 더 이해가 잘 될 거 같은데.. 답변 부탁드립니다.


 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73079
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17643
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65733
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86106
50 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5296
49 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5471
48 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5834
» RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6269
46 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6285
45 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6525
44 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6692
43 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7283
42 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7558
41 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9333
40 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9482
39 반응기의 면적에 대한 질문 12720
38 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. 13082
37 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 13485
36 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16659
35 Virtual Matchng 16756
34 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17132
33 electrode gap 17802
32 Faraday shielding & Screening effect 18219
31 최적의 펌프는? 18443

Boards


XE Login