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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62987
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36 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 124
35 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 396
34 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 401
33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 539
32 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 546
31 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 552
30 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 568
29 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 667
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 857
27 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 910
26 MATCHER 발열 문제 [3] 1109
25 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1161
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1377
23 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1580
22 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1702
21 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1764
20 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1780
19 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1905
18 임피던스 매칭회로 [1] file 2045
17 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2991
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