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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[179]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1588 |
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101 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1592 |
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100 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1620 |
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[Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련]
[3] | 1702 |
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98 |
doping type에 따른 ER 차이
[1] | 1710 |
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97 |
DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 1762 |
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96 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 1764 |
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95 |
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 1831 |
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94 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 1843 |
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93 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 2054 |
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92 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2097 |
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91 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2282 |
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90 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 2283 |
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RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2300 |
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88 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
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87 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 2420 |
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86 |
산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 2512 |
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85 |
PR wafer seasoning
[1] | 2552 |
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84 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2560 |
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83 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
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