Collision 충돌단면적에 관하여

2004.06.19 15:56

관리자 조회 수:26712 추천:400

대개의 ICP-Type의 공정은 매우 낮은 압력에서
이루어지는 것으로 알고 있습니다. 이런 경우
전자의 mean free path를 기준으로 플라즈마관련
문제를 푸는 것으로 알고 있습니다. 여기서 질문인데요...
압력이 10mTorr 정도인 경우 mean free path가 충분히 길어
지는 것으로 알고 있습니다. 이런 경우 mean free path를
Chamber의 Size를 기준으로 계산을 해도 되는지 여쭤보고
싶습니다. 만일 안된다면 어떤 이유인지요...^^

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103232
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24700
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61501
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73514
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105927
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 121
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 187
831 플라즈마 식각 커스핑 식각량 226
830 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 237
829 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 265
828 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 291
827 PEALD 챔버 세정법 [1] 293
826 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 301
825 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 301
824 플라즈마 설비에 대한 질문 305
823 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 328
822 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 328
821 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 343
820 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 346
819 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 349
818 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 349
817 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 354
816 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 357
815 Druyvesteyn Distribution 374
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 375
쓰기
태그

Boards

XE Login