Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
2009.08.05 12:52
수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데 RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76839 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20251 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68743 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92582 |
| 796 | Druyvesteyn Distribution | 2 |
| 795 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 5 |
| 794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 11 |
| 793 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 | 12 |
| 792 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 14 |
| 791 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 46 |
| 790 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 52 |
| 789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 58 |
| 788 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 61 |
| 787 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 67 |
| 786 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 68 |
| 785 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 76 |
| 784 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 78 |
| 783 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 88 |
| 782 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 106 |
| 781 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 111 |
| 780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 111 |
| 779 | Microwave & RF Plasma [1] | 130 |
| 778 | sputtering 을 이용한 film depostion [1] | 131 |
| 777 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 132 |