플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?

carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.

플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만

carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76815
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20242
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92572
795 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 4
794 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 4
793 플라즈마 식각 커스핑 식각량 new 6
792 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 8
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 35
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 47
789 플라즈마 설비에 대한 질문 52
788 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 60
787 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 67
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 68
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 72
784 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 76
783 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 87
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 102
781 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 106
780 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 110
779 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 128
778 Microwave & RF Plasma [1] 129
777 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 132
776 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 138

Boards


XE Login