Etch Dry etch 할 때 센터와 사이드 etch rate [Plasma diffusion과 distribution]

2020.07.09 13:00

도리 조회 수:2801

안녕하세요 교수님

Etch시 센터와 사이드 etch rate이 다를 경우 어떤 공정 파라미터를 조절해야 하나요?

 

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