안녕하세요 Plasma 해석 관련 공부 하고 있는 석사 과정 학생입니다. 매번 도움 주셔서 감사합니다 교수님.

 

다름이 아니라 plasma striation 현상에 대해 문의드리고 싶어 글 남깁니다.

 

일반적으로 반도체 드라이 에치 CCP 챔버에서는 저압 영역 (<100mTorr)에서 전극을 좁혀서 사용하는 것으로 알고있는데,

 

이때 Non Local electron kinetic에 의해 정전척의 직경 방향(x방향)으로 Plasma Striation 현상이 생긴다고 알고 있습니다.

(이미지 첨부하였습니다.)

 

Plasma Striation 현상이 발생하면 Plasma Uniformity가 안좋아지기 때문에 결과적으로 공정에 안좋은 영향이 될 것 같습니다.

 

1. Plasma Striation 현상이 있어도 Plasma Uniformity 를 위해 압력을 높이거나 Electrode 간격을 늘리지 않는 이유가 궁금합니다.

   (Plasma Striation 현상이 있더라도 공정에 미치는 영향성이 적어서 그런걸까요?)

 

2. Plasma Striation 현상을 보완하기 위한 실제적인 방법이 궁금합니다.

   (저압 조건일때 특히 Non Local electron kinetic이 잘 일어나는데 그렇다고 압력을 높이면 플라즈마 밀도가 떨어질 것이기 

    때문에 개선하기 위해 다른 여러 방법이 있을것 같습니다.)

 

3. Plasma Striation 현상을 기준하기 위한 방법이 있나요?

   상용 Fluid Model S/W에서 Simulation 으로 해석한 결과 Striation 현상같은데, 정확히 그 기준을 알고 싶습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102615
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61354
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73436
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105739
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 120
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 185
831 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 188
830 플라즈마 식각 커스핑 식각량 224
829 PEALD 챔버 세정법 [1] 243
828 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 256
827 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 263
826 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 286
825 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 296
824 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 299
823 플라즈마 설비에 대한 질문 301
822 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 324
821 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 333
820 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 334
819 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 337
818 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 342
817 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
816 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 347
815 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 351
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 365

Boards


XE Login