Others Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]

2023.10.19 19:41

ejd420 조회 수:578

안녕하십니까 

플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.

 

혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다. 

 

추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.

( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)

 

아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.

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