Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
2011.01.03 12:29
이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.
Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다
tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.
솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여
맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만
이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] | 5829 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 53124 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 64503 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 85114 |
698 | 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] | 31 |
697 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 62 |
696 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 71 |
695 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 93 |
694 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 104 |
693 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 124 |
692 | plasma modeling 관련 질문 [1] | 160 |
691 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] ![]() | 161 |
690 | ESC DC 전극 Damping 저항 | 162 |
689 |
구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
[1] ![]() | 169 |
688 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 184 |
687 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 216 |
686 |
RF Sputtering Target Issue
[1] ![]() | 220 |
685 |
plasma striation 관련 문의
[1] ![]() | 221 |
684 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] ![]() | 223 |
683 | Polymer Temp Etch [1] | 226 |
682 | 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] | 232 |
681 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 236 |
680 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] ![]() | 241 |
679 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 247 |