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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64503
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498 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1012
497 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1018
496 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1020
495 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1025
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492 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1045
491 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1051
490 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1064
489 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1066
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484 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1139
483 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1150
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