번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64504
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85116
478 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1203
477 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1206
476 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1212
475 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1219
474 charge effect에 대해 [2] 1222
473 MATCHER 발열 문제 [3] 1224
472 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1236
471 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1238
470 Ar plasma power/time [1] 1239
469 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1242
468 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1244
467 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1244
466 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1245
465 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1260
464 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1263
463 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1266
462 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1269
461 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1272
460 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1273
459 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1278

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