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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학]
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3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존]
[2] | 1308 |
591 |
고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
[1] | 1310 |
590 |
Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념]
[1] | 1325 |
589 |
플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리]
[1] | 1327 |
588 |
진학으로 고민이 있습니다. [복수전공]
[2] | 1333 |
587 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground]
[1] | 1349 |
585 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
[3] | 1354 |
584 |
Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
[2] | 1358 |
583 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1361 |
582 |
RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택]
[1] | 1373 |
581 |
CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
[1] | 1375 |
580 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1396 |
579 |
Group Delay 문의드립니다. [마이크로파]
[1] | 1401 |
578 |
플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
[1] | 1402 |
577 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion]
[1] | 1403 |
576 |
Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동]
[1] | 1403 |
575 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
[1] | 1404 |
574 |
CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias]
[1] | 1407 |