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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61251
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73339
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105572
593 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1305
592 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1308
591 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1310
590 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1325
589 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1327
588 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1333
587 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1335
586 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1349
585 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1354
584 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1358
583 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1361
582 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1373
581 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1375
580 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1396
579 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1401
578 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1402
577 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1403
576 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1403
575 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1404
574 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1407
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