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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[279]
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20315 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1446 |
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
| 1446 |
499 |
Ar plasma power/time
[1] | 1447 |
498 |
강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1456 |
497 |
Plasma 발생영역에 관한 질문
[2] | 1460 |
496 |
Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1465 |
495 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1466 |
494 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1470 |
493 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1472 |
492 |
알고싶습니다
[1] | 1472 |
491 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1472 |
490 |
ICP lower power 와 RF bias
[1] | 1476 |
489 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1483 |
488 |
charge effect에 대해
[2] | 1484 |
487 |
N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 1484 |
486 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1516 |
485 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1528 |
484 |
PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1530 |
483 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1539 |
482 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1541 |