공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[182]
| 75022 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 18864 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 56341 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 66858 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 88327 |
399 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2190 |
398 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2195 |
397 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2197 |
396 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 2225 |
395 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2238 |
394 |
plasma etching을 관련 문의드립니다.
[1] | 2242 |
393 |
플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
| 2243 |
392 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 2270 |
391 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 2279 |
390 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2308 |
389 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2315 |
388 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
| 2317 |
387 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 2320 |
386 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2323 |
385 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2326 |
384 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] | 2327 |
383 |
질문있습니다.
[1] | 2333 |
382 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2353 |
381 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 2431 |
380 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2437 |