번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 225712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 65255
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 102271
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 114370
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 193378
518 RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law] [1] 3945
517 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 3952
516 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 3953
515 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 3959
514 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 3971
513 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 3980
512 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술] [1] 3982
511 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 3987
510 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 3989
509 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 3990
508 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 3993
507 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료] [1] 3998
506 [Update] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력 [1] 4009
505 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 4011
504 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 4013
503 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 4017
502 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 4017
501 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 4020
500 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 4020
499 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE] [1] 4025

Boards


XE Login