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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20206 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1686 |
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1689 |
467 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1703 |
466 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1730 |
465 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1737 |
464 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1751 |
463 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1758 |
462 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1793 |
461 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 1795 |
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1811 |
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
[1] | 1843 |
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매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1849 |
457 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1850 |
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PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1851 |
455 |
공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1865 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1871 |
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가입인사드립니다.
[1] | 1880 |
451 |
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1] | 1895 |
450 |
유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1900 |