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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law]
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[재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술]
[1] | 3952 |
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning]
[1] | 3953 |
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
[1] | 3959 |
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정]
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MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의]
[1] | 3980 |
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술]
[1] | 3982 |
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Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase]
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 3989 |
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고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
[1] | 3990 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield]
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CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
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[Update] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력
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CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계]
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Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과]
[1] | 4013 |
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ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성]
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liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다.
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도]
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CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화]
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE]
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