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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66858
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399 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2190
398 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2195
397 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2197
396 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 2225
395 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2238
394 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2242
393 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2243
392 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 2270
391 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 2279
390 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2308
389 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2315
388 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2317
387 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2320
386 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2323
385 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2326
384 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2327
383 질문있습니다. [1] 2333
382 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2353
381 Plasma etcher particle 원인 [1] 2431
380 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2437
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