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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76670
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92162
387 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2753
386 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2759
385 임피던스 매칭회로 [1] file 2798
384 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2812
383 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2867
382 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2869
381 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2888
380 RF matcher와 particle 관계 [2] 2902
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2958
378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2961
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3051
376 CVD 공정에서의 self bias [1] 3087
375 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3158
374 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3170
372 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3173
371 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3190
370 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3259
369 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3279
368 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3318
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