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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19969
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57058
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68524
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91229
353 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3574
352 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3576
351 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3594
350 Descum 관련 문의 사항. [1] 3663
349 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3715
348 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3754
347 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3799
346 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3837
345 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3902
344 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3931
343 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3975
342 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4040
341 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4082
340 플라즈마 색 관찰 [1] 4129
339 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4194
338 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4253
337 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4262
336 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4396
335 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4677
334 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4989

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