Chamber Impedance Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다
2022.07.24 20:09
안녕하세요 디스플레이 근무 중인 사람입니다
질문
1.Chamber 환경 변화시 VPP 값의 변화
EX) 주기성 Parts 절연체 감소로 인한 Chamber 변동 시
2. 압력과 VPP의 상관관계
이 두가지 질문을 드립니다
제가 많이 부족하여 이렇게 쉬운것도
짊질문을 한점 양해부탁드립니다ㅜㅜ
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76740 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68705 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92297 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20248 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20260 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20312 |
126 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20381 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20408 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20422 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20481 |
122 | 확산펌프 | 20516 |
121 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20576 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20621 |
119 | Three body collision process | 20649 |
118 | 교재구입 | 20725 |
117 | 이온주입량에 대한 문의 | 20731 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20807 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20834 |
114 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20906 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
111 | 플라즈마란? | 21057 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21110 |