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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4866
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83500
596 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 466
595 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
594 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 481
593 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
592 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 482
591 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 483
590 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
589 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 493
588 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 494
587 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 494
586 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 501
585 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 502
584 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 506
583 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 507
582 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 518
581 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 520
580 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 521
579 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 529
578 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 532
577 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 538

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