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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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596 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
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595 |
Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련
[1] | 479 |
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594 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 481 |
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593 |
조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문
[1] | 482 |
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592 |
기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
[2] | 482 |
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591 |
코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
[1] | 483 |
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590 |
플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
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589 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
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588 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
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587 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 494 |
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586 |
N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
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Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 502 |
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584 |
플라즈마 기본 사양 문의
[1] | 506 |
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583 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
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582 |
엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
[1] | 518 |
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581 |
RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의
[1] | 520 |
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580 |
공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
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연면거리에 대해 궁금합니다.
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플라즈마용사코팅에서의 carrier gas
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