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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70230
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624 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 926
623 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 926
622 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 939
621 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 941
620 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 946
619 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 951
618 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 951
617 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 954
616 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 966
615 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 967
614 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 971
613 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 980
612 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 983
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정] [1] 992
610 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 996
609 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1014
608 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1014
607 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1017
606 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1018
605 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 1029
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