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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70230
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604 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1035
603 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1038
602 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1052
601 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1056
600 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1058
599 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1060
598 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1065
597 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1072
596 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1081
595 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1093
594 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1099
593 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1099
592 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1102
591 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1105
590 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1107
589 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1116
588 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1117
587 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1118
586 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1120
585 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1120
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