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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73465
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613 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [Plasma heat와 dissociation] [1] 1223
612 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1224
611 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1226
610 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1231
609 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 1234
608 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1235
607 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1236
606 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1240
605 자기 거울에 관하여 1246
604 반도체 METAL ETCH시 CH4 GAS의 역할 [플라즈마 식각기술] [1] 1246
603 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [국부 전기장 형성 및 edge 세정] [1] 1251
602 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [세정 공정 개발] [1] 1259
601 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1264
600 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274
599 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1283
598 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1284
597 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1292
596 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1298
595 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1312
594 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1313

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