OES OES 원리에 대해 궁금합니다!

2018.05.31 19:08

이혜지 조회 수:26220

안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다

이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데

생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다

플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??

부탁드립니다!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76942
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20312
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57231
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68782
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92770
760 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 226
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 229
758 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 229
757 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 238
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 255
755 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 259
754 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 265
753 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 271
752 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 275
751 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 288
750 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 288
749 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 304
748 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 313
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 322
746 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 324
745 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 325
744 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 326
743 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 329
742 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 333
741 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 342
쓰기
태그

Boards

XE Login