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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성]
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챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP]
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skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
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ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]
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gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제]
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
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공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate]
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Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
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CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고]
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise]
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Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수]
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752 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
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751 |
E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포]
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RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability]
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플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상]
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입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
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chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
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메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마]
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745 |
plasma modeling 관련 질문 [Balance equation]
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