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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)]
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안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias]
[1] | 951 |
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OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델]
[1] | 952 |
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OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단]
[1] | 954 |
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Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
[1] | 956 |
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ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]
[1] | 957 |
667 |
코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발]
[1] | 965 |
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ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델]
[1] | 965 |
665 |
CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
[1] | 977 |
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O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
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GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 1005 |
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N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마]
[1] | 1006 |
661 |
플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation]
[1] | 1010 |
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코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density]
[1] | 1012 |
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
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658 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
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657 |
안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력]
[1] | 1021 |
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플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해]
[1] | 1024 |
655 |
RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제]
[1] | 1033 |
654 |
RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
[1] | 1037 |