번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
133 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 574
132 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 577
131 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 581
130 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 604
129 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 692
128 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 731
127 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 750
126 라디컬의 재결합 방지 [1] 758
125 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 770
124 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 774
123 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 780
122 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 783
121 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 804
120 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 806
119 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 830
118 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 837
117 Plasma Generator 관련해서요. [1] 899
116 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 903
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 922
114 anode sheath 질문드립니다. [1] 936

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