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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스)
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
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105 |
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1] | 1277 |
104 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] | 1286 |
103 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1305 |
102 |
플라즈마 챔버
[2] | 1335 |
101 |
PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
[1] | 1340 |
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Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다.
[1] | 1349 |
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DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다.
[3] | 1365 |
98 |
수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1413 |
97 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1424 |
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1430 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1454 |
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 1477 |
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ICP lower power 와 RF bias
[1] | 1570 |
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N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 1577 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1583 |
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1592 |
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plasma 형성 관계
[1] | 1646 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1661 |