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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20206 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57168 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1944 |
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 1955 |
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RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 2006 |
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ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2234 |
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2270 |
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 2314 |
73 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2315 |
72 |
Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 2316 |
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RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 2382 |
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2478 |
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수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2644 |
68 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 2686 |
67 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 2782 |
66 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3324 |
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RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3409 |
64 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3536 |
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3708 |
62 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 4011 |
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[3] | 4486 |
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CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 4941 |