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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher]
[1] | 9623 |
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DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"]
[3] | 11545 |
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[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스]
[1] | 12948 |
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ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생]
| 18263 |
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self bias [Capacitor와 mobility]
[1] | 19623 |
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이온주입량에 대한 문의
| 20800 |
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RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density]
[2] | 21108 |
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CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance]
| 21506 |
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential]
[2] | 22942 |
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
| 24063 |
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5 |
플라즈마 쉬스 [Sheath와 self bias]
| 24086 |
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4 |
self Bias voltage [Self bias와 mobility]
| 24252 |
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3 |
self bias (rf 전압 강하)
| 26915 |
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2 |
sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름]
| 28116 |
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1 |
Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자]
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