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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69062
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93235
74 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. new 4
73 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [1] 18
72 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [1] 53
71 플라즈마 식각 커스핑 식각량 74
70 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 99
69 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 111
68 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 132
67 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 256
66 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 275
65 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 312
64 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 326
63 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 332
62 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 361
61 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 390
60 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 401
59 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 442
58 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 457
57 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 530
56 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 603
55 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 623

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