Matcher matching box에 관한 질문
2010.05.05 13:54
안녕하세요...
저는 반도체 회사에서 근무하는 사람입니다..
matching box 관련하여 질문이 있어서 글을 올립니다..
현업에서 matching box관련 monitoring하는 parameter중 Load position과 Tune position이란 게 있습니다..
여기 사이트에서 load capacitor와 tune capacitor 얘기가 언급되어 아마 capacitor 관련 용어인 것으로 짐작
되어 지는데 정확한 의미와 역할을 알고 싶습니다..
제 나름대로 확인한 바로는 impedance matching은 L nework와 Pi network가 있는데 위에서 언급한 Load
capacitor와 Tune capacitor는 Pi network에서 사용되는 2개의 capacitor 이름인가요?
답변 부탁 드립니다..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57195 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92611 |
797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 8 |
796 | Druyvesteyn Distribution | 10 |
795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 18 |
794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 22 |
793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 22 |
792 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 49 |
791 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 55 |
790 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 63 |
789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 63 |
788 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 67 |
787 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 68 |
786 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
785 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 77 |
784 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 86 |
783 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 89 |
782 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 110 |
781 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 113 |
780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 118 |
779 | Microwave & RF Plasma [1] | 134 |
778 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 135 |