Collision MFP에 대해서..

2012.04.12 08:57

SPL 조회 수:7824

안녕하세요 조성운입니다.

 plasma 내 존재하는 particle의 반경과 압력을 알때 MFP는 1/ nr(n 밀도, r 충돌 단면적)로 계산할 수 있다고 합니다.

플라즈마에 존재하는 다양한 radicals의 MFP를 계산하기 위해서는 모든 종의 충돌 단면적을 알아야 가능한데,

혹시 F, CF, CF2, CF3 의 충돌단면적을 알 수 있는 방법이 없을까요??

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76737
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92283
789 플라즈마 설비에 대한 질문 22
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 40
787 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 53
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 59
785 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 65
784 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 70
783 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 80
782 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 83
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 86
780 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 101
779 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 113
778 Microwave & RF Plasma [1] 115
777 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 115
776 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
775 skin depth에 대한 이해 [1] 129
774 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 136
773 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 137
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 138
771 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 147
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 151

Boards


XE Login