Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma]

2023.01.16 16:15

karsir 조회 수:223

Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.

해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.

실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [312] 79201
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21245
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58052
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69608
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94394
803 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 182
802 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 182
801 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 187
800 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 191
799 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 195
798 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 198
797 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 198
796 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 199
795 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 201
794 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 202
793 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 204
792 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 204
791 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 205
790 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 205
789 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 210
788 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 210
787 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 221
» 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 223
785 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 226
784 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 229
쓰기
태그

Boards

XE Login