Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:324

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102693
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24672
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61385
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73454
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105780
813 Druyvesteyn Distribution 369
812 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 375
811 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 383
810 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 389
809 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 393
808 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 401
807 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 402
806 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 405
805 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 411
804 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 412
803 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 417
802 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 424
801 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 426
800 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 428
799 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 429
798 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 431
797 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 432
796 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 437
795 HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다. [2] 441
794 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 447
쓰기
태그

Boards

XE Login