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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73492
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93 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22218
92 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22243
91 플라즈마의 발생과 ICP 22332
90 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22543
89 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22710
88 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22810
87 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22821
86 Peak RF Voltage의 의미 22855
85 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22905
84 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22953
83 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23083
82 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 23104
81 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스] [1] 23263
80 No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율] 23334
79 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating] 23337
78 고온플라즈마와 저온플라즈마 23378
77 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 23385
76 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23409
75 DC glow discharge 23420
74 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23474

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