Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.

2011.01.03 12:29

한영일 조회 수:48106 추천:72

이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.

Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다

tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.

솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여

맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만

이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93632
59 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24693
58 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24749
57 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24806
56 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24818
55 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 24957
54 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24971
53 plasma와 arc의 차이는? 25006
52 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 25023
51 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25611
50 충돌단면적에 관하여 [2] 26267
49 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26340
48 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 26520
47 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26566
46 self bias (rf 전압 강하) 26836
45 이온과 라디칼의 농도 file 27118
44 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27286
43 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27731
42 DBD란 27831
41 플라즈마 온도 27897
40 탐침법 27959

Boards


XE Login