번호 제목 조회 수
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57682
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69185
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93510
756 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 321
755 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 332
754 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 332
753 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 332
752 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 334
751 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 337
750 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 341
749 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 346
748 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 351
747 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 354
746 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 365
745 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 366
744 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 372
743 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 384
742 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 394
741 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 398
740 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 398
739 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 399
738 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 403
737 plasma modeling 관련 질문 [1] 406

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