Plasma in general Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요?
2018.12.26 15:02
PLASMA SPACING은 고정한채 Frequency만 조절하여 플라즈마 세로 영역을 확장할 수 있을까요?
Frequecny가 low일수록 이온의 움직일 수 있는 시간이 늘어 이온이 아래위로 더 움직일 수 있을거 같은데
이를 증명할 수 있는 방법이나, 이 사실에 대해 아시는 분 답변 부탁드립니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76776 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20224 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68721 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92388 |
691 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 541 |
690 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 544 |
689 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
688 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 548 |
687 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 549 |
686 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 551 |
685 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 555 |
» | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 559 |
683 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
682 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 567 |
681 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 568 |
680 | 활성이온 측정 방법 [1] | 573 |
679 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
678 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 578 |
677 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 583 |
676 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
675 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
674 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 590 |
673 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 593 |
672 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 594 |