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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68777
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680 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 590
678 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 594
677 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 600
676 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 600
675 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 600
674 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 602
673 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
672 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 610
671 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 613
670 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 615
669 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 617
668 RF Sputtering Target Issue [2] file 619
667 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 620
666 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 622
665 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 627
664 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 628
663 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 632
662 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 634
661 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 635

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