Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
797 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 9
796 Druyvesteyn Distribution 13
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 20
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 25
793 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 36
792 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 56
791 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 63
790 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 63
789 플라즈마 설비에 대한 질문 67
788 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 71
787 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
786 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 73
785 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 77
784 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 90
783 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 94
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 116
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 116
780 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 119
779 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 136
778 Microwave & RF Plasma [1] 137

Boards


XE Login